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 Nanometrology of an ultraprecision machined surface by using optical sensors 使用光学传感器进行超精密加工表面的纳米测量
相关领域
纳米计量学
干涉测量
圆度（物体）
表面粗糙度
光学
材料科学
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计量学
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表面计量学
轮廓仪
天文干涉仪
物理
复合材料
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| 其它 |
期刊： 作者：Zengyuan Niu; Ryo Kobayashi; Yuan-Liu Chen; Yuki Shimizu; So Ito; et al 出版日期：2016-08-01 |
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