Role of Oxygen in Amorphous Carbon Hard Mask Plasma Etching - 科研通

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标题	Role of Oxygen in Amorphous Carbon Hard Mask Plasma Etching
网址	https://doi.org/10.1021/acsomega.3c02438
DOI	10.1021/acsomega.3c02438 doi
其它	期刊：ACS Omega 作者：Yeom HJ, Yoon MY, Choi D, Lee Y, Kim JH, You SJ, Lee HC 出版日期：2023-08-31
求助人	甜甜钢铁侠在 2026-09-26 14:28:31 发布自安徽，悬赏 10 积分
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