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 256-Channel Flexible Electrode Array Fabricated in Situ on TSV for System-Level Packaging and High-Density Neural Recording 相关领域
材料科学
电极
互连
光电子学
基质（水族馆）
原位
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电极阵列
微系统
氧化物
微电极
表征（材料科学）
接口（物质）
电子工程
生物医学工程
多电极阵列
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期刊：2026 IEEE 39th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 作者：Dongyang Wen; Jingjing An; Kejun Tu; Ning Wei; Zixing Li; et al 出版日期：2026-03-12 |
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