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Characterization of vapor draw vessel performance for low-volatility solid precursor delivery 相关领域
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者:James E. Maslar; William A. Kimes; Brent A. Sperling; Ravindra K. Kanjolia 出版日期:2020-12-10 |
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