Nitrogen flow rate dependent atomic coordination, phonon vibration and surface analysis of DC magnetron sputtered nitrogen rich-AlN thin films - 科研通

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标题	Nitrogen flow rate dependent atomic coordination, phonon vibration and surface analysis of DC magnetron sputtered nitrogen rich-AlN thin films
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092145262...
DOI	10.1016/j.physb.2023.415141 doi
其它	期刊：Physica B: Condensed Matter 作者：Aishwarya Madhuri; Sanketa Jena; Mukul Gupta; Bibhu Prasad Swain 出版日期：2023-07-22
求助人	小冬腊月在 2026-10-28 15:26:34 发布自河北，悬赏 10 积分
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