High-resolution 3D NAND profile measurement using optical metrology and machine learning

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标题	High-resolution 3D NAND profile measurement using optical metrology and machine learning
网址	https://doi.org/10.1117/12.3090491
DOI	10.1117/12.3090491 doi
其它	期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XL 作者：Dongjin Choi; Yuseong Jang; Sangwon Seo; Taeseok Seong; Chulgi Song; et al 出版日期：2026
求助人	one8only 在 2026-05-20 20:29:30 发布自湖北，悬赏 20 积分
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