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标题
Advanced characterizations of fluorine-free tungsten film and its application as low resistance liner for PCRAM
无氟钨薄膜的高级表征及其在PCRAM低电阻衬板中的应用
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材料科学 钨 电阻率和电导率 薄板电阻 薄膜 锡 化学气相沉积 分析化学（期刊） 图层（电子） 复合材料 纳米技术 光电子学 冶金 工程类 化学 电气工程 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2017.08.033
DOI
10.1016/j.mssp.2017.08.033 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Philippe Rodriguez; R. Famulok; Y. Le Friec; J. P. Reynard; Benoit-Noel Bozon; et al
出版日期：2017-11-01
求助人
YJYLU 在 2024-03-11 19:57:18 发布自湖北，悬赏 10 积分
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