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  The effects of NH3 plasma passivation on polysilicon thin-film transistors NH3等离子体钝化对多晶硅薄膜晶体管的影响
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Fang-Hsing Wang; M.J. Tsai; Huang–Chung Cheng 出版日期：1995-11-01 |
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