Effect of target on micromachining of sapphire using laser-induced plasma-assisted ablation

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标题	Effect of target on micromachining of sapphire using laser-induced plasma-assisted ablation 靶材对激光诱导等离子体辅助烧蚀蓝宝石微加工的影响相关领域材料科学表面微加工激光烧蚀蚀刻（微加工）蓝宝石激光器表面粗糙度烧蚀反应离子刻蚀表面光洁度干法蚀刻等离子体刻蚀等离子体光电子学光学制作复合材料物理工程类病理航空航天工程替代医学医学量子力学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2023.01.035
DOI	10.1016/j.ceramint.2023.01.035 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Qiuling Wen; Jinhong Chen; Jing Lu; Dekui Mu; Feng Jiang 出版日期：2023-05-01
求助人	重缘在 2023-12-18 09:44:12 发布自浙江，悬赏 10 积分
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