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标题
Scandium-Doped Aluminum Nitride for Acoustic Wave Resonators, Filters, and Ferroelectric Memory Applications
相关领域
材料科学 铁电性 氮化物 谐振器 光电子学 微电子机械系统 压电 兴奋剂 纤锌矿晶体结构 纳米技术 电子工程 工程物理 复合材料 冶金 工程类 图层(电子) 电介质
网址
DOI
10.1021/acsaelm.2c01409 doi
其它 期刊:
作者:Li Chen; Chen Liu; Ming-Hua Li; Wen-Dong Song; Weijie Wang; et al
出版日期:2022-12-12
求助人
VelesAlexei 在 2023-06-09 09:56:53 发布自北京,悬赏 10 积分
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