Research Progress of the Bottom Anti-reflective Coating for Photoresist

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标题	Research Progress of the Bottom Anti-reflective Coating for Photoresist 光刻胶底部增透膜的研究进展相关领域材料科学涂层光刻胶防反射涂料纳米技术图层（电子）
网址	http://www.yxkxyghx.org/EN/article/downloadArticleFile.do?at...
DOI	10.7517/j.issn.1674-0475.2016.02.123 doi
其它	期刊：Imaging Science and Photochemistry 作者：Kuan Wang; Jingcheng Liu; Liu Ren; Qidao Mu; Xiangfei Zheng; et al 出版日期：2016-03-15
求助人	下课了吧在 2025-08-13 20:40:31 发布自中国，悬赏 10 积分
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