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标题
CD versus pitch across the slit for multiple 248-nm step-and-scan exposure tools
多个248nm步进扫描曝光工具的CD与狭缝间距
相关领域
十字线 邻近效应（电子束光刻） 占空比 光学 光学接近校正 光刻 偏压 平版印刷术 光学（聚焦） 领域（数学） 接近传感器 计算机科学 视野 物理 薄脆饼 电压 材料科学 光电子学 抵抗 纳米技术 数学 电子束光刻 纯数学 操作系统 量子力学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.474571
DOI
10.1117/12.474571 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Jo Finders; Robert de Kruif; Richard Bruls; Igor Bouchoms
出版日期：2002-07-15
求助人
zds233 在 2025-10-28 09:54:08 发布自广东，悬赏 20 积分
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