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 Optimization of post-deposition annealing temperature for improved signal-to-noise ratio in In2O3 gas sensor 提高In2O3气体传感器信噪比的沉积后退火温度优化
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期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Wonjun Shin; Seongbin Hong; Yujeong Jeong; Gyuweon Jung; Jinwoo Park; et al 出版日期：2021-04-16 |
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yunjun
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