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标题
Low‐Temperature Dual‐Material Area‐Selective Deposition: Molybdenum Hexafluoride‐Mediated SiO2 Fluorination/Passivation for Self‐Aligned Molybdenum/Metal Oxide Nanoribbons
低温双材料区域选择性沉积：六氟化钼介导的SiO2氟化/钝化自对准钼/金属氧化物纳米带
相关领域
材料科学 X射线光电子能谱 钝化 原子层沉积 扫描电子显微镜 钼 化学工程 纳米技术 氧化物 氟 化学气相沉积 图层（电子） 冶金 复合材料 工程类
网址
https://doi.org/10.1002/adfm.202316872
DOI
10.1002/adfm.202316872 doi
其它 期刊：Advanced Functional Materials
作者：Hwan Oh; Jeremy M. Thelven; Hannah R. M. Margavio; Gregory N. Parsons
出版日期：2024-04-25
求助人
LDWV 在 2025-08-28 08:03:56 发布自贵州，悬赏 10 积分
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