Role of excess ligand and effect of thermal treatment in hybrid inorganic-organic EUV resists

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标题	Role of excess ligand and effect of thermal treatment in hybrid inorganic-organic EUV resists 无机-有机杂化EUV抗蚀剂中过量配体的作用和热处理的影响相关领域 X射线光电子能谱抵抗反应性（心理学）配体（生物化学）溶解度红外光谱学化学结晶度材料科学甲基丙烯酸光谱学结晶学无机化学化学工程聚合物物理化学有机化学共聚物图层（电子）受体病理工程类物理替代医学医学量子力学生物化学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2300064
DOI	10.1117/12.2300064 doi
其它	期刊：作者：Eric C. Mattson; Sara M. Rupich; Yasiel Cabrera; Yves J. Chabal 出版日期：2018-03-19
求助人	不驯在 2025-10-27 03:16:59 发布自广西，悬赏 20 积分
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