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标题
Proximity correction and k1 performance for resists with nonoptical patterning response
具有非光学图案化响应的抗蚀剂的邻近校正和k1性能
相关领域
抵抗 临界尺寸 平版印刷术 光学接近校正 材料科学 光学 光刻 光刻胶 邻近效应（电子束光刻） 电子束光刻 光电子学 纳米技术 物理 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.537701
DOI
10.1117/12.537701 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：David S. Fryer; Vinita Singh; Thanh N. Phung; Peng Liu
出版日期：2004-05-14
求助人
大安吉 在 2025-10-27 07:26:33 发布自海南，悬赏 20 积分
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