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Programmed line width roughness metrology by multitechniques approach
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网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.17.4.041005
AI链接 univ-grenoble-alpes.fr univ-grenoble-alpes.frdoi.org
DOI
10.1117/1.jmm.17.4.041005 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS
作者：Jérôme Rêche; M. Besacier; Patrice Gergaud; Yoann Blancquaert; Guillaume Freychet; et al
出版日期：2018-07-31
求助人
Yiqing 在 2025-10-27 10:34:39 发布自四川，悬赏 20 积分
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