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 Evaluation of Strain-Relaxation of Carbon-Doped Silicon Nanowires and Its Crystal Orientation Dependence Using X-Ray Diffraction Reciprocal Space Mapping 用X射线衍射互易空间映射评价碳掺杂硅纳米线的应变弛豫及其晶体取向依赖性
相关领域
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期刊：Journal of Electronic Materials 作者：Kazutoshi Yoshioka; Ichiro Hirosawa; Takeshi Watanabe; Ryo Yokogawa; Atsushi Ogura 出版日期：2023-05-23 |
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