Study on Tunnel Oxide Degradation by Metal Pad Etch-InducedPlasma Damage in 0.04 $mu$m Flash Memory Technology

已完结

文献求助详情

标题	Study on Tunnel Oxide Degradation by Metal Pad Etch-InducedPlasma Damage in 0.04 $mu$m Flash Memory Technology 相关领域材料科学闪光灯（摄影）氧化物降级（电信）闪存金属光电子学复合材料法律工程学冶金电气工程计算机科学嵌入式系统光学工程类物理
网址	https://doi.org/10.3938/jkps.55.346
DOI	10.3938/jkps.55.346 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Ilsub Chung; Jeongyun Lee; Wanjae Park; Haksun Lee; Tokasiki Ken; et al 出版日期：2009
求助人	不驯在 2025-10-30 19:15:19 发布自广西，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 852上传了应助文件

1秒前; lei完成签到，获得积分10

5秒前; GingerF上传了应助文件

5秒前; 楚天霸发布了新的文献求助10

7秒前; 心灵美的涑发布了新的文献求助20

8秒前; shinian发布了新的文献求助10

9秒前; liwhao完成签到，获得积分10

11秒前; womendoukeyi完成签到，获得积分10

12秒前; 神勇师完成签到，获得积分10

13秒前; 无极微光上传了应助文件

14秒前; SciGPT上传了应助文件

15秒前; ying818k完成签到，获得积分10

17秒前; 科研通AI6.1的应助被yeyiliux采纳，获得10

18秒前; a.s完成签到，获得积分0

18秒前; yylg完成签到，获得积分10

19秒前; sukk完成签到，获得积分10

20秒前; sfafasfsdf发布了新的文献求助10

20秒前; 可靠安寒完成签到，获得积分10

20秒前; 无花果的应助被1234采纳，获得10

23秒前; hh完成签到，获得积分10

24秒前; 不喝汽水完成签到，获得积分10

26秒前; 小乐的应助被欢呼的乌采纳，获得10

28秒前; orixero的应助被鹿仙lux采纳，获得10

32秒前; conycc完成签到，获得积分20

32秒前; Akim的应助被lty001采纳，获得10

35秒前; Akim的应助被木槿采纳，获得10

39秒前; shinian完成签到，获得积分10

40秒前; 你真是那个啊完成签到，获得积分10

40秒前; 科研小郭完成签到，获得积分10

40秒前; 楚天霸完成签到，获得积分20

41秒前; 暴躁的橘子完成签到，获得积分10

41秒前; orixero上传了应助文件

42秒前; 无花果上传了应助文件

43秒前; xiaxia完成签到，获得积分10

44秒前; 香蕉觅云上传了应助文件

45秒前; ly完成签到，获得积分10

45秒前; 852的应助被ermu采纳，获得10

45秒前; TK完成签到，获得积分10

46秒前; 鹿仙lux发布了新的文献求助10

47秒前; 1234发布了新的文献求助10

48秒前