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An ultrasonic flowmeter for liquid flow measurement in small pipes using AlN piezoelectric micromachined ultrasonic transducer arrays
AlN压电微机械超声换能器阵列用于小管道液体流量测量的超声波流量计
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期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering 作者:Ke Zhu; Xuying Chen; Mengjiao Qu; De Ren Yang; Liang Hu; et al 出版日期:2020-11-03 |
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