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标题
Low-resistivity molybdenum-carbide thin films formed by thermal atomic layer deposition with pressure-assisted decomposition reaction
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003664
DOI
10.1116/6.0003664 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Min‐Ji Ha; Na-Gyeong Kang; Woo‐Hee Kim; Tae Joo Park; Tae‐Eon Park; et al
出版日期：2024-06-25
求助人
Abigail 在 2026-07-10 16:12:15 发布自福建，悬赏 10 积分
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