Angular dependences of SiO2 etch rates at different bias voltages in CF4, C2F6, and C4F8 plasmas

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标题	Angular dependences of SiO2 etch rates at different bias voltages in CF4, C2F6, and C4F8 plasmas
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060901...
DOI	10.1016/j.tsf.2017.03.047 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Jun-Hyun Kim; Sung-Woon Cho; Chang Jin Park; Heeyeop Chae; Chang-Koo Kim 出版日期：2017-03-24
求助人	cyyan 在 2026-09-21 15:57:46 发布自上海，悬赏 10 积分
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Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

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