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垂直Micro-LED芯片Ag反射镜ICP刻蚀工艺优化
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张宇辰, 李军, 王磊. 垂直Micro-LED芯片Ag反射镜ICP刻蚀工艺优化[J]. 发光学报, 2024, 45(6): 1082-1091.
求助人
zn
在 2026-07-15 13:05:51 发布自
安徽
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zn
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