Channeling, Self-PAI, and Self-Sputtering Effects of Ion Implantation versus Ion Species, Energy, and Dose - Data and Modeling

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标题	Channeling, Self-PAI, and Self-Sputtering Effects of Ion Implantation versus Ion Species, Energy, and Dose - Data and Modeling
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/7879975/7882830/07882854...
DOI	10.1109/iit.2016.7882854 doi
其它	期刊：2016 21st International Conference on Ion Implantation Technology (IIT) 作者：Shu Qin 出版日期：2017-03-24
求助人	不卷心菜在 2026-08-19 19:01:28 发布自湖北，悬赏 10 积分
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