A frontside power-signal decoupling technology: self-aligned metal layer division and staggered patterning process

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标题	A frontside power-signal decoupling technology: self-aligned metal layer division and staggered patterning process
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3051181
DOI	10.1117/12.3051181 doi
其它	期刊：Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning XIV 作者：Xinzuo Sun; Kang Wang; Yijian Chen; Xijun Li 出版日期：2025-04-22
求助人	归尘在 2026-08-26 23:43:59 发布自安徽，悬赏 20 积分
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