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标题
Mask-aligner lithography using a continuous-wave diode laser frequency-quadrupled to 193 nm
网址
https://doi.org/10.1364/oe.26.000730
DOI
10.1364/oe.26.000730 doi
其它 期刊：Opt Express
作者：Kirner R, Vetter A, Opalevs D, Gilfert C, Scholz M, Leisching P, Scharf T, Noell W, Rockstuhl C, Voelkel R
出版日期：2018-01-01
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