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Contribution of Ribbon-Structured SiO2 Films to AlN-Based and AlN/Diamond-Based Lamb Wave Resonators 带状结构SiO2薄膜对AlN基和AlN/金刚石基兰姆波谐振器的贡献
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期刊:Sensors 作者:Mohammed Moutaouekkil; Jérémy Streque; Othmane Marbouh; El Houssaine El Boudouti; Omar Elmazria; et al 出版日期:2023-07-10 |
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