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 Impact of air exposure on growth rate and electrical properties of SnO2 thin films by atmospheric pressure spatial atomic layer deposition 空气暴露对常压空间原子层沉积SnO2薄膜生长速率和电学性能的影响
相关领域
分析化学（期刊）
材料科学
薄膜
化学
纳米技术
环境化学
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期刊：Journal of Physics D 作者：Hang Tran Thi My; Ngoc Linh Nguyen; Trung Kien Mac; Duc Anh Duong; Thien Thanh Nguyen; et al 出版日期：2023-10-10 |
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