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Time-resolved ion energy distribution functions during a HiPIMS discharge with cathode voltage reversal
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网址
https://doi.org/10.1088/1402-4896/aca5c7
DOI
10.1088/1402-4896/aca5c7 doi
其它 期刊：Physica Scripta
作者：Zachary Jeckell; D. Eitan Barlaz; Thomas Houlahan; Wolfgang Huber; Ian Haehnlein; et al
出版日期：2022-11-24
求助人
dabao 在 2026-01-11 20:26:06 发布自贵州，悬赏 10 积分
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