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 Performance variation with pristine and doped high‐k materials via atomic layer deposition 通过原子层沉积的原始和掺杂高k材料的性能变化
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期刊：International Journal of Applied Ceramic Technology 作者：Eun Su Jung; JinUk Yoo; Tae-Min Choi; Hwa-Rim Lee; Chae Yeon Lee; et al 出版日期：2024-12-12 |
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