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Design and Fabrication of High-Performance Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Based on Aluminum Nitride Thin Films 基于氮化铝薄膜的高性能压电微机械超声换能器的设计与制作
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期刊:Micromachines 作者:Le Zhang; Kunxian Yan; Lei Ye; Xiangyu Luo; Jian He; et al 出版日期:2024-08-01 |
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