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标题
Effects of oxygen thermal annealing on AlN trench metal-semiconductor field-effect transistors (MESFETs) on single-crystal AlN substrates
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材料科学 沟槽 光电子学 X射线光电子能谱 肖特基势垒 退火(玻璃) 宽禁带半导体 肖特基二极管 晶体管 浅沟隔离 阈值电压 泄漏(经济) 形成气体 热氧化 半导体 工作职能 击穿电压 热的 晶片键合 场效应晶体管 氧气 钝化 原子层沉积 带隙 半导体器件 反向漏电流 深能级瞬态光谱 MOSFET 导电原子力显微镜 光谱学 碳化硅 分析化学(期刊) 电压
网址
DOI
10.1063/5.0304969 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:Bingcheng Da; Dinusha Herath Mudiyanselage; Dawei Wang; Junzhe Xie; Xianzhi Wei; et al
出版日期:2025-12-08
求助人
迷失的悠悠 在 2026-01-18 21:02:27 发布自天津,悬赏 10 积分
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