| 标题 |
 Effects of oxygen thermal annealing on AlN trench metal-semiconductor field-effect transistors (MESFETs) on single-crystal AlN substrates 相关领域
材料科学
沟槽
光电子学
X射线光电子能谱
肖特基势垒
退火（玻璃）
宽禁带半导体
肖特基二极管
晶体管
浅沟隔离
阈值电压
泄漏（经济）
硅
形成气体
热氧化
半导体
工作职能
击穿电压
热的
晶片键合
场效应晶体管
氧气
钝化
原子层沉积
带隙
半导体器件
反向漏电流
深能级瞬态光谱
MOSFET
导电原子力显微镜
光谱学
碳化硅
分析化学（期刊）
电压
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Applied Physics Letters 作者：Bingcheng Da; Dinusha Herath Mudiyanselage; Dawei Wang; Junzhe Xie; Xianzhi Wei; et al 出版日期：2025-12-08 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cdercder
dde
无极微光
HFH
AllRightReserved
嘻嘻哈哈
猪猪hero
张欢馨
Rainyin
arniu2008
OK
科研狗
GingerF
eric888
蓝天
lizishu
369ninja
乐空思
尊嘟假嘟
木子也是李
皖公网安备34019202002308
