Spin coating properties of SU-8 thick-layer photoresist - 科研通

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标题	Spin coating properties of SU-8 thick-layer photoresist SU-8厚层光刻胶的旋涂性能相关领域光刻胶涂层旋涂材料科学流变仪图层（电子）复合材料粘度纺纱抵抗流变学
网址	https://doi.org/10.1117/12.436881
DOI	10.1117/12.436881 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Ren-Haw Chen; Chao‐Min Cheng 出版日期：2001-08-24
求助人	玺白白在 2025-12-19 17:19:10 发布自中国，悬赏 20 积分
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