Micromachined Infrared Thermopile Detector Based on a Suspended Film Structure

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标题	Micromachined Infrared Thermopile Detector Based on a Suspended Film Structure 基于悬浮膜结构的微机红外热电堆探测器相关领域热电堆热电偶微电子机械系统探测器材料科学光电子学红外线的光学物理复合材料
网址	https://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s13320-023-068... AI链接 springer.com springer.comdoi.org
DOI	10.1007/s13320-023-0682-0 doi
其它	期刊：Photonic Sensors 作者：Liang Cheng; Yihao Guan; Ting Liang; Xuezhan Wu; Yuehang Bai; et al 出版日期：2023-03-21
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