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  Micromachined Infrared Thermopile Detector Based on a Suspended Film Structure 基于悬浮膜结构的微机红外热电堆探测器
相关领域
热电堆
热电偶
微电子机械系统
探测器
材料科学
光电子学
红外线的
光学
物理
复合材料
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期刊：Photonic Sensors 作者：Liang Cheng; Yihao Guan; Ting Liang; Xuezhan Wu; Yuehang Bai; et al 出版日期：2023-03-21 |
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