Unconventional coil shape design of eddy current sensors and the effect of shape parameters on the micro/nano-scale metal film thickness measurement performance

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标题	Unconventional coil shape design of eddy current sensors and the effect of shape parameters on the micro/nano-scale metal film thickness measurement performance
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6501/ad8475
DOI	10.1088/1361-6501/ad8475 doi
其它	期刊：Measurement Science and Technology 作者：Hongkai Li; Xinghao Lu; Jinlong Wang; Tong Zhang 出版日期：2024-10-08
求助人	hujixuan 在 2026-10-10 13:26:13 发布自北京，悬赏 10 积分
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