Electron‐Induced C─F Bond Activation in Sn 6 ‐oxo Cluster Resist for Enhanced Sensitivity and Sub‐10‐nm Patterning

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标题	Electron‐Induced C─F Bond Activation in Sn 6 ‐oxo Cluster Resist for Enhanced Sensitivity and Sub‐10‐nm Patterning
网址	http://dx.doi.org/10.1002/anie.7887240
DOI	10.1002/anie.7887240 doi
其它	期刊：Angewandte Chemie International Edition 作者：Wenzheng Li; Min Zhang; Yingdong Zhao; Riyao Cong; Runfeng Xu; et al 出版日期：2026-06-15
求助人	龙龙ff11_ 在 2026-10-12 13:42:13 发布自上海，悬赏 10 积分
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