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标题
Chemical Mechanical Planarization of Copper: Role of Oxidants and Inhibitors
网址
http://dx.doi.org/10.1149/1.1806395
DOI
10.1149/1.1806395 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：S. Deshpande; S. C. Kuiry; M. Klimov; Y. Obeng; S. Seal
出版日期：2004-01-01
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dddd 在 2026-10-28 13:38:25 发布自上海，悬赏 10 积分
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