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Thermal expansion coefficient of polycrystalline silicon and silicon dioxide thin films at high temperatures 相关领域
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Haruna Tada; Amy E. Kumpel; Richard E. Lathrop; John B. Slanina; P. Nieva; et al 出版日期:2000-04-28 |
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(2025-6-4)