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 Study of Profile Improvement through shift of phase between RF source and bias at the RF-Biased ICP reactor 相关领域
相（物质）
材料科学
核工程
环境科学
化学
工程类
有机化学
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| 其它 |
期刊：Vacuum 作者：Paul Yang; Wan Soo Song; K. H. Ahn; Chi‐Young Lee; B.Y. Oh; et al 出版日期：2025-01-01 |
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(2025-6-4)
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