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Analysis of phase shift effects on metal etching profiles in RF-biased ICP reactors

相（物质）材料科学核工程环境科学化学工程类有机化学

作者

Paul Yang,Wan Soo Song,Karam Ahn,Chi‐Young Lee,B.Y. Oh,Beom Seok Kim,Yoon Young Lee,Jin Cheol Son

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2025-01-11 卷期号：233: 114032-114032 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114032

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