Scalable self-aligned fabrication of nanoscale vertical a-IGZO TFTs utilizing angled deposition

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标题	Scalable self-aligned fabrication of nanoscale vertical a-IGZO TFTs utilizing angled deposition
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6528/ae2c05
DOI	10.1088/1361-6528/ae2c05 doi
其它	期刊：Nanotechnology 作者：Jiyoung Bang; Seungmin Choi; Yeonsu Lee; Yeonghun Lee; Hyowon Kim; et al 出版日期：2025
求助人	坚强亦巧在 2026-04-16 00:10:48 发布自美国，悬赏 10 积分
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