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标题
Degradation of the surface passivation of plasma-assisted ALD Al2O3under damp-heat exposure
湿热暴露下等离子体辅助ALD Al2O3表面钝化的降解
相关领域
潮湿 钝化 材料科学 降级（电信） 化学 化学工程 X射线光电子能谱 图层（电子） 等离子体 原子层沉积 复合材料 热力学 电子工程 物理 量子力学 工程类
网址
https://doi.org/10.1002/pssa.201431256
DOI
10.1002/pssa.201431256 doi
其它 期刊：Physica Status Solidi A-applications and Materials Science
作者：Wensheng Liang; Dongchul Suh; Jun Yu; James Bullock; Klaus Weber
出版日期：2014-07-15
求助人
yj1506837246 在 2025-04-30 16:42:52 发布自江苏，悬赏 10 积分
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