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标题
New materials of spin-on organic hardmask for sub-70nm devices
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2007.02.004
DOI
10.1016/j.mee.2007.02.004 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Sang-Jun Choi; Chang-Il Oh; Dong-Seon Uh
出版日期：2007-12-01
求助人
david 在 2026-09-12 23:36:08 发布自上海，悬赏 10 积分
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