Molybdenum Nitride as a Scalable and Thermally Stable pWFM for CFET

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标题	Molybdenum Nitride as a Scalable and Thermally Stable pWFM for CFET
网址	https://doi.org/10.23919/VLSITechnologyandCir57934.2023.1018...
DOI	10.23919/VLSITechnologyandCir57934.2023.10185430 doi
其它	期刊：2023 IEEE Symposium on VLSI Technology and Circuits (VLSI Technology and Circuits) 作者：H. Arimura; S. Brus; J. Franco; Y. Oniki; A. Vandooren; et al 出版日期：2023
求助人	kalisu24 在 2026-06-21 14:29:07 发布自天津，悬赏 10 积分
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