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  An area-variant type MEMS capacitive sensor based on a novel bionic swallow structure for high sensitive nano-indentation measurement 基于新型仿生燕子结构的高灵敏度纳米压痕测量面积变式MEMS电容传感器
相关领域
材料科学
微电子机械系统
电容感应
线性
灵敏度（控制系统）
悬臂梁
纳米-
光电子学
缩进
制作
触觉传感器
电子工程
纳米技术
电气工程
复合材料
计算机科学
工程类
医学
替代医学
病理
人工智能
机器人
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| 其它 |
期刊：Measurement 作者：Wendi Gao; Cunlang Liu; Tao Liu; Libo Zhao; Chenying Wang; et al 出版日期：2022-07-01 |
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