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![]() 磁控等离子体产生控制对氮化铜层结构和性能的影响
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期刊:Thin Solid Films 作者:Katarzyna Nowakowska‐Langier; Łukasz Skowroński; Rafał Choduń; Sebastian Okrasa; Grzegorz W. Strzelecki; et al 出版日期:2019-12-10 |
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