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AN INFLUENCE OF PLASMA TREATMENT ON STRUCTURE PROPERTIES OF THIN SiC FILMS ON Si
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网址
https://doi.org/10.1615/hightempmatproc.v14.i1-2.170
DOI
10.1615/hightempmatproc.v14.i1-2.170 doi
其它 期刊：High Temperature Material Processes An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes
作者：K. Kh. Nussupov; Н. Б. Бейсенханов; K.A. Mit’; Д.М. Мухамедшина; Z. M. Amreyeva; et al
出版日期：2010-01-01
求助人
沫雨 在 2025-10-28 12:50:37 发布自宁夏，悬赏 30 积分
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