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  High-Precision Ultra-Long Air Slit Fabrication Based on MEMS Technology for Imaging Spectrometers 基于MEMS技术的成像光谱仪高精度超长气隙制作
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期刊：Micromachines 作者：Xiaoyu Ren; Selina X. Yao; Jiacheng Zhu; Zejun Deng; Yijia Wang; et al 出版日期：2023-11-30 |
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