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Two-dimensional dopant potential mapping in a fin field effect transistor by off-axis electron holography 用离轴电子全息法绘制鳍状场效应晶体管中掺杂剂的二维电位
相关领域
掺杂剂
材料科学
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:M. Gribelyuk; S. Mehta; Jeffrey B. Johnson; Lee Kimball 出版日期:2022-07-26 |
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