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  Ultraviolet antireflective porous nanoscale periodic hole array of 4H-SiC by Photon-Enhanced Metal-assisted chemical etching 光子增强金属辅助化学刻蚀4H-SiC紫外减反射多孔纳米周期孔阵列
相关领域
蚀刻（微加工）
紫外线
材料科学
纳米尺度
各向同性腐蚀
干法蚀刻
紫外线
光电子学
碳化硅
等离子体刻蚀
纳米技术
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反应离子刻蚀
复合材料
图层（电子）
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期刊：Applied Surface Science 作者：Yikai Liao; Sangho Shin; Munho Kim 出版日期：2021-12-30 |
| 求助人 |
楼萌黑
在
2025-08-29 18:54:51 发布，悬赏 10 积分
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